Wasco的(de)Barracuda系列(lie)高純(chun)度(du)(UHP)傳(chuan)感(gan)器專(zhuan)為(wei)在苛刻的(de)市場(chang)應(ying)用中需(xu)要檢測腐(fu)蝕(shi)性(xing)介質(zhi)的(de)應(ying)用而設(she)計。這些(xie)傳感(gan)器非(fei)常(chang)適合(he)檢測氣(qi)體(ti)或液體介質(zhi)，而(er)不(bu)會對過程介質(zhi)造(zao)成汙染(ran)。該(gai)系列(lie)非(fei)常(chang)適合(he)要求在高精(jing)度(du)、嚴(yan)格(ge)公差應(ying)用中檢測腐(fu)蝕(shi)性(xing)介質(zhi)的(de)系統(tong)。

我(wo)們(men)為(wei)下(xia)壹(yi)代(dai)半(ban)導體加(jia)工(gong)設(she)備中的(de)高腐(fu)蝕(shi)性(xing)環(huan)境(jing)設(she)計了(le)這些(xie)傳感(gan)器。梭魚(yu)系列(lie)的(de)額定應(ying)用周期(qi)超過10，000，000。梭(suo)魚(yu)擁(yong)有滿足或超過SEMI F20 (UHP)的(de)材(cai)料，臨界(jie)點蝕(shi)溫(wen)度(du)性(xing)能> 35℃。所有(you)傳(chuan)感(gan)器都經過氦(hai)泄(xie)漏測試(shi)，達(da)到(dao)每(mei)SEMI F1≤1 x 10-9標準立(li)方厘(li)米(mi)/秒氦(hai)。

煤氣箱(xiang)

IGS氣體(ti)面(mian)板

氣(qi)體(ti)分(fen)配系統(tong)

閥(fa)門歧(qi)管箱(xiang)

蝕(shi)刻和沈積(ji)系統(tong)