KLA帶(dai)有 6 路(lu)連接(jie)器(qi)探頭(tou)與CDE工具制(zhi)造的(de)探頭(tou)非常(chang)相似(si)，但(dan)探頭(tou)頭(tou)不可(ke)互換(huan)，因此(ci)應格(ge)外小(xiao)心，尤(you)其是(shi)當兩(liang)個(ge)系(xi)統都(dou)在(zai)現場使(shi)用時(shi)。CDE兼容(rong)探(tan)頭(tou)具有特(te)的(de)黑色(se)物鏡(jing)轉(zhuan)換(huan)器(qi)。所有(you) Jandel 探(tan)頭(tou)都具有高水(shui)平的(de)機械(xie)精度。通(tong)過視(shi)頻檢(jian)測(ce)系(xi)統和光(guang)學(xue)幹(gan)涉(she)儀驗證(zheng)半(ban)徑(jing)、間距(ju)和平(ping)面(mian)度的(de)規格(ge)。負載(zai)由電子(zi)測力計(ji)驗證(zheng)。

• 高性能(neng)

• 探(tan)頭(tou)間距(ju)：0.500mm，0.635mm，1.00mm，1.016mm，1.27mm，1.591mm（針至(zhi)針(zhen)頭(tou)）

• 公差(cha)：+/- 10微(wei)米

• 布(bu)置：線(xian)性或方陣列

• 針頭(tou)：碳化鎢直徑(jing)為0.4mm（直(zhi)徑(jing)為0.3mm的(de)距離間距(ju)）

• 針(zhen)頭(tou)選項：50％osmium合(he)金提(ti)示(shi)可(ke)用

• 半徑(jing)：12.5、25、40、100、150、200、300、500微(wei)米

• 縮(suo)放(fang)到(dao)墊(dian)子(zi)：0.5毫(hao)米

• 平面(mian)性：+/- 0.025mm或更好(hao)

• 負(fu)載(zai)：固定在(zai)10克(ke)和250克(ke)之(zhi)間(jian)

• 電氣泄(xie)漏(lou)：500伏特(te)的(de)針之(zhi)間(jian)的(de)1013歐姆電阻