VPM-5傳感器(qi)提供良(liang)好性(xing)能(neng)，並(bing)通(tong)過(guo)將可(ke)用的(de)電(dian)導(dao)率(lv)真(zhen)空測(ce)量(liang)儀的可(ke)用測(ce)量(liang)範(fan)圍(wei)擴(kuo)展到(dao)1-3年(nian)來建立(li)了新標(biao)準(zhun)技(ji)術(shu)，再加(jia)上(shang)新(xin)型的準(zhun)確數字(zi)信(xin)號處(chu)理(li)架構和(he)創(chuang)新(xin)測(ce)量(liang)算(suan)法(fa)。

• 超(chao)寬(kuan)的(de)測(ce)量(liang)範(fan)圍(wei)為(wei)9年(nian)

• 通過(guo)S4-Connect USB程序(xu)員簡(jian)化(hua)配置(zhi)

• 0-10 VDC可(ke)編(bian)程(cheng)電(dian)壓(ya)輸(shu)出

• 數字(zi)RS-232或RS485接口(kou)

• 穩定(ding)Zero漂(piao)移(yi)補償(chang)

• 可(ke)選(xuan)的固(gu)態設(she)定(ding)點繼電(dian)器用於(yu)過(guo)程控(kong)制(zhi)

• 磁(ci)滯1×10-3至(zhi)10 MBAR（ISO19685：2017）：1％

• 滯(zhi)後(hou)10至1333 MBAR（ISO19685：2017）：0.1％

• 模擬(ni)輸(shu)出分(fen)辨率(lv)：16位（150 µV）

• 模擬(ni)輸(shu)出更新(xin)率(lv)：124 Hz

• 響應(ying)時(shi)間(jian)（ISO 19685：2017）：<20 ms

• 溫度(du)補償(chang)：+10至(zhi)+50°C

• 固(gu)態(tai)繼電器(qi)設(she)定(ding)點範圍(wei)：5×10-6至1333 MBAR（3.75×10-6至(zhi)1000 Torr）

• 固態繼電器接(jie)觸(chu)評級(ji)：50 V，100 MARMS / MADC

環(huan)境(jing)條(tiao)件:

• 操作環(huan)境(jing)溫度(du)：-20至(zhi)+50°C

• 介質溫度(du)：-20至(zhi)+50°C

• 存(cun)儲環(huan)境(jing)溫度(du)：-40至(zhi)+120°C

• 烘(hong)烤(kao)溫度(du)（非(fei)操(cao)作(zuo)）：+120°C

• 安裝位置(zhi)：任(ren)意(yi)

• 濕(shi)度(du)，IEC 68-2-38：98％，無(wu)調

電源:

• 電(dian)源電(dian)壓(ya)：12-30 VDC

• 功耗：240 MW（max）

• 反極(ji)性(xing)保護(hu)：是(shi)

• 電壓(ya)保護(hu)：是(shi)

• 內部保險(xian)絲：100 mA（可(ke)回(hui)收）

• 質譜(pu)儀

• 掃描電子(zi)顯微鏡

• 爐熱(re)處(chu)理(li)

• 玻(bo)璃(li)，光學，工具等的PVD塗(tu)層(ceng)

• 制(zhi)冷(leng)服(fu)務和(he)制(zhi)造(zao)

• 半(ban)導(dao)體處(chu)理(li)