用(yong)於高(gao)度動(dong)態(tai)和振動(dong)敏感(gan)的(de)機(ji)器和儀器的(de)實時(shi)液(ye)位(wei)控制。

EPPC實時(shi)液(ye)位(wei)控制可實現+/-10µm的(de)生(sheng)產精度，並顯(xian)著(zhu)減少(shao)偏(pian)轉和沈降(jiang)時(shi)間(jian)，以(yi)響應動(dong)態(tai)負載變(bian)化基(ji)於智(zhi)能瀏(liu)覽(lan)器的(de)用(yong)戶界(jie)面，用(yong)於設(she)置、診斷和監控。

電(dian)子氣(qi)動(dong)位(wei)置(zhi)控制EPPC為高精度機器、高度動(dong)態(tai)和振動(dong)敏感(gan)的(de)測(ce)量(liang)機器、顯(xian)微鏡以(yi)及測試(shi)和生產機(ji)器提供好的(de)振(zhen)動(dong)隔離。

EPPC可(ke)以(yi)與(yu)三到(dao)六(liu)個BiAir薄膜空氣彈(dan)簧控制組組(zu)合，以(yi)控制多(duo)達六(liu)個自(zi)由度。Bilz為系(xi)統設(she)計(ji)提供各(ge)種(zhong)不同尺寸的(de)空(kong)氣(qi)彈(dan)簧。

電(dian)子氣(qi)動(dong)液(ye)位(wei)控制系(xi)統與(yu)BiAir薄膜空氣彈(dan)簧相(xiang)結合(he)，可實現位(wei)置(zhi)精度，並減少(shao)動(dong)態(tai)負載變(bian)化時(shi)的(de)偏(pian)轉和沈降(jiang)時(shi)間(jian)。

• 位(wei)置(zhi)精度（+/-10µm）

• 可單獨(du)調節(jie)的(de)系(xi)統參數(shu)（如(ru)阻尼）

• 響應荷載變(bian)化的(de)短撓度(du)和沈降(jiang)時(shi)間(jian)

• 每(mei)個自(zi)由度壹(yi)個高(gao)性能伺服閥和壹(yi)個位(wei)移(yi)傳(chuan)感(gan)器

• 采用(yong)CAN總(zong)線(xian)技術的(de)優(you)化(hua)連(lian)接系(xi)統

• 基(ji)於瀏(liu)覽(lan)器的(de)智(zhi)能(neng)用(yong)戶界(jie)面，用(yong)於設(she)置、診斷和監控，通過(guo)以(yi)太網(wang)連接，可進(jin)行遠程維(wei)護

• 操作員狀(zhuang)態(tai)顯(xian)示（例(li)如(ru)準(zhun)備(bei)就緒(xu)、工作位(wei)置(zhi)、動(dong)作完成(cheng)、錯(cuo)誤）

• 用(yong)於外(wai)部控制和監控的(de)數(shu)字(zi)I/O接口

• 高(gao)分辨率(lv)信號處(chu)理(li)和伺服閥技術帶來(lai)的(de)無(wu)噪聲(sheng)控制

• 堅固(gu)可靠(kao)的(de)空(kong)氣(qi)彈(dan)簧技術，可與(yu)Bilz BiAir®薄膜空氣彈(dan)簧結(jie)合使(shi)用(yong)

• 無幹擾發熱、磁場(chang)波(bo)動(dong)或(huo)電(dian)磁執(zhi)行器的(de)高(gao)功耗(hao)

• 典型系(xi)統負載：800 kg–120.000 kg

• 垂(chui)直(zhi)固有頻率(lv)：1,2–2,5 Hz

• 水(shui)平(ping)固有頻率(lv)：2,2–2,8 Hz

• 控制類型：伺服氣動(dong)

• 適(shi)合潔(jie)凈(jing)室：是

• 通信接口：以(yi)太網(wang)、數(shu)字(zi)I/O

• 產地(di)：德國(guo)

-傳(chuan)感器分辨率(lv)：

• 位(wei)移(yi)測(ce)量(liang)系(xi)統：0.76µm

• 壓力(li)傳感(gan)器：0.36毫巴

• 采樣率(lv)傳感(gan)器信號：1 kHz（過(guo)采樣後(hou)）

• 高精度機器

• 振動(dong)敏感(gan)和高度動(dong)態(tai)的(de)測(ce)量(liang)機

• 顯(xian)微鏡

• 半導(dao)體(ti)行業(ye)的(de)測(ce)試(shi)和生產機(ji)器